執(zhí)行機構用以實現(xiàn)機電一體化產(chǎn)品的主功能。它應能完成預期的動作，并具有響應速度快、動態(tài)特性好、動靜態(tài)精度高、動作靈敏度高等特點。為便于控制，它還應滿足效率高、體積小、質量輕、自控性強、可靠性高等要求
機電一體化產(chǎn)品具有信息處理系統(tǒng)、物流系統(tǒng)、加工系統(tǒng)、是以能量、物質和信息的傳遞、處理、轉換、保存等為目的的技術系統(tǒng)，為實現(xiàn)不同的目的功能，需采用不同形式的執(zhí)行機構，如電動的、機械的、電子的、激光的等等。
微動機構
微動機構是一種能在一定范圍內精確、微量地移動到給定位置或實現(xiàn)特定的進給運動的機構。微動機構一般用于精確、微量地調節(jié)某些部件的相對位置。
微動機構的性能好壞在一定程度上影響系統(tǒng)的精確性和操作性能，因而要求其滿足如下基本要求：
低摩擦、高靈敏度，最小移動量達到使用要求
傳動平穩(wěn)、可靠，無空程和爬行，有足夠的剛度，制動后能保持穩(wěn)定的位置
抗干擾能力強，快速響應性好
具有好的動特性，即響應頻率高
良好的結構工藝性
應能實現(xiàn)自動控制
微動機構按執(zhí)行件的運動原理不同分為：
彈性變形式
雙螺旋差動式
熱變形式
磁致伸縮式
電致伸縮式